Ingenieurbüro für angewandte Strömungsmechanik

Kontakt

CFD in der Vakuumtechnik

Strahlung in einem Handler

In einem Vakuum wird Wärme nur durch Strahlung ausgetauscht. Dabei spielt die räumliche Ausdehnung bei der Bestimmung der Austauschkoeffizienten (Sichtfaktoren) eine maßgebliche Rolle . Auch die spektrale Abhängigkeit der Oberflächeneigenschaften kann von großer Bedeutung sein.

Waferabkühlung mit der Zeit

Strahlpumpe

Eine Vakuumpumpe (auch Strahlpumpe genannt) saugt Material aus einem Raum an. Eines der wichtigsten Kriterien ist das Fördervolumen.

Die Geometrie und die Druckverhältnisse sind sehr entscheidend für die Funktion des mit kompressiblen Gasen durchströmten Apparates. Verdichtungsstöße und Verdünnungswellen können auftreten, ungünstig positioniert liegen, den Wirkungsgrad negativ beeinflussen und zu Schwingungen im Strahl führen.

Die Abbildungen zeigen die Geometrie und die Druckverteilung einer Vakuumpumpe.

Die Geometrie

Die Druckverteilung